Met een schijf silicium in de ene hand en 500 dollar in de andere kwam de Nederlandse ondernemer Arthur del Prado eind jaren vijftig terug uit de Verenigde Staten. Dat hij niet met lege handen terugkeerde, is te danken aan zijn toevallige ontmoeting met een andere emigrant, in het toen nog piepjonge Silicon Valley: Dean Knapic. Deze ingenieur was een van de uitvinders die zorgde dat je silicium zo kon bewerken dat het een perfect basismateriaal werd om halfgeleiders op aan te brengen.

Zo begon het avontuur dat nu ASML heet in een klein kantoor in Bilthoven met maar één bureau en een Volkswagen voor de deur. Daar werd advanced semiconductor materials ofwel ASM geboren, waar later ASML uit zou voortkomen.

Del Prado had maar één ding voor ogen: dat Nederland zijn eigen Silicon Valley zou ontwikkelen. Daar is hij voortvarend mee aan de slag gegaan. In Bilthoven begon hij al snel met het bouwen van eigen machines om chips te fabriceren, maar daar stopte het denken niet. Van even groot belang is hoe de nieuwe techbedrijven in Den Haag ijverden voor het verbeteren van het ondernemersklimaat voor de nieuwe economische bedrijvigheid.

Philips Research

Tekenend hiervoor is de rol die het ministerie van Economische Zaken speelde bij de samenwerking van ASM en Philips, die begin jaren 80 leidde tot de oprichting van ASML. Del Prado zocht al jaren toenadering tot het Eindhovense bedrijf, met toen vierhonderdduizend mensen in dienst, waar de knapste koppen van het land werkten bij een heuse uitvindingenfabriek, het Philips Research Centrum. Op industrieterrein Strijp werkten in het Natuurkundig Laboratorium wetenschappers en ingenieurs aan zowel toegepast als fundamenteel onderzoek.

Hoewel Philips materiaal inkocht bij ASM, zag het bedrijf niets in dieper gaande samenwerking met het bedrijf van Del Prado. Die had hier zijn zinnen op gezet, in de volle overtuiging dat juist door samenwerking tussen bedrijven het tempo van innovatie zo kon worden opgeschroefd, dat de razendsnelle ontwikkelingen in de chipindustrie in de VS en in Japan konden worden bijgebeend.

Dit principe is nog steeds de basis van hoe ASML werkt bij het produceren van lithografiemachines, complexe systemen waarin silicium schijven bedrukt worden met ultrafijne lijntjes die stroompjes geleiden. Die worden laagje voor laagje op elkaar aangebracht tot er een microchip ontstaat. Hoe fijner de lijntjes die de machines kunnen printen, hoe beter de chip. ASML bouwt deze machines niet in zijn eentje, maar maakt gebruik van een hele keten aan toeleverende bedrijven. Die zitten in en om Veldhoven, en ook in andere kenniscentra verspreid over de hele wereld: de lenzen komen uit Duitsland, andere onderdelen uit Arizona. En als de machines eenmaal verkocht zijn en draaien in bijvoorbeeld de Taiwanese fabrieken van wereldmarktleider TSMC, dan zijn in de buurt altijd onderhoudsmedewerkers van het Veldhovense bedrijf in de buurt om de machinerie te optimaliseren of storingen te verhelpen. Kennis én kunde worden gedeeld, niet alleen bij het gebruik van de apparatuur, maar ook bij het ontwikkelen ervan. Philips was in de jaren tachtig heel anders georganiseerd. Daar deden ze zoveel mogelijk in eigen huis. Geld en andere middelen waren er zat.

Innovatief ecosysteem

Del Prado werd een belangrijke gesprekspartner in een regulier overleg van het ministerie van Economische Zaken met de halfgeleiderindustrie. En hij benadrukte daar steevast hoe goed het zou zijn als de nieuw opkomende bedrijven de handen ineen zouden slaan met gerenommeerde industrieconglomeraten als Philips en Siemens. ‘Hoewel we vele voorstellen hebben gedaan voor samenwerking, is het steeds weer de Amerikaanse industrie waar we de support vonden om bijna al onze producten te lanceren’, schreef Del Prado aan het ministerie van EZK én aan Philips. Zo’n ecosysteem van innovatieve bedrijven was in de VS de sleutel gebleken tot snelle en succesvolle innovatie, en leverde in Amerika een hoop economische groei op.

Tijdens een overleg op het ministerie in november 1982, precies drie weken voor het Akkoord van Wassenaar werd gesloten, kwam op dit gebied de doorbraak. Aan de orde kwamen plannen van Philips om in Amerika een partner te zoeken om een machine te ontwikkelen waarmee op grote schaal microchips konden worden gemaakt door middel van de nieuw ontwikkelde lithografietechnologie. Kunnen we dat niet beter samen doen, vroeg Del Prado zich af? Als iemand de weg wist in de Amerikaanse chipsector, dan was hij het immers wel.

Overheidssubsidies

Geld om te investeren in de vervolmaking van die eerste zogenoemde wafersteppermachine kwam uit de subsidiepot voor technische innovatie van het ministerie van EZK, de regeling Technische Ontwikkelings Kredieten (TOK). Zo ontstond in 1984 een lang gekoesterde joint-venture tussen ASM en Philips: ASM Lithografie, oftwel ASML. Beide bedrijven investeerden 7,5 miljoen gulden, vanuit de TOK-regeling kwam een subsidie van 25 miljoen gulden (omgerekend 11,3 miljoen euro).

‘Zonder de TOK had ASML niet bestaan’, zei voormalig ceo Peter Wennink van ASML in januari dit jaar tegen De Telegraaf. Ook op andere manieren hebben de Nederlandse overheid en de Europese Unie bijgedragen aan de groei van het bedrijf. Bijvoorbeeld met kredieten en verzekeringen voor de export. Later door mee te investeren in de ontwikkeling van steeds verfijndere lithografiemachines, waaronder de nieuwste EUV-technologie voor het belichten van de silicium wafers. Het is deze Extreme Ultra Violet-methode die maakt dat ASML tegenwoordig een pion is op het geopolitieke schaakbord. De Verenigde Staten willen voorkomen dat Chinese bedrijven hier gebruik van kunnen maken, omdat Washington bang is dat China hiermee chips gaat maken die het leger een grote technologische voorsprong kunnen geven. China kaatst terug dat het de Amerikanen eigenlijk te doen is om te voorkomen dat haar economie sneller kan groeien, en groter kan worden dan die van de VS.

De chipindustrie is in de economische wapenwedloop wereldwijd een sleutelspeler. Niet voor niets heeft de Europese Commissie vorig jaar de European Chips Act gelanceerd, een uitgebreid programma om innovatie te stimuleren. ASML speelt op dit terrein een hoofdrol.

Nationaal Groeifonds

Sinds de invoering van de euro is het spreekwoord ‘van een dubbeltje een kwartje worden’ in de vergetelheid geraakt, maar de geschiedenis van de innovatiepolitiek in Nederland laat zien dat dit principe nog altijd springlevend is, zegt Rianne Letschert, voorzitter van het Nationaal Groeifonds. Dat werd door het derde kabinet-Rutte in het leven geroepen om de innovatiekracht van de Nederlandse economie voor de lange termijn te stutten. Bedrijven die samenwerken met elkaar en met kennisinstellingen, kunnen een beroep doen op geld om technologie door te ontwikkelen, die veelbelovend is maar nog niet ver genoeg om te worden toegepast in verkoopbare producten.

De ontwikkelsubsidies (de TOK bestaat niet meer, wel zijn er opvolgers) kunnen worden aangevraagd door consortia zoals ASML plus haar toeleverende bedrijven. In dit voorbeeld voor opvolgers van de EUV-technologie, maar denk ook aan bedrijven die innoveren op het gebied van de energietransitie, verduurzaming of het ontwikkelen van nieuwe medicijnen. ‘Als je niet zeker weet of zo’n innovatie commercieel haalbaar is, zal je er als bedrijf niet makkelijk veel geld in steken. Maar de voorbeelden uit de geschiedenis van ASML laten zien dat ze van onschatbare waarde kunnen zijn voor onze welvaart.’

Operatie Beethoven

Tegenover de TOK-subsidie van 24 miljoen gulden in de jaren tachtig van de vorige eeuw, staat nu bijvoorbeeld de 200 miljoen euro die ASML meebetaalt aan Operatie Beethoven. Dat is het nieuwe kabinetsplan voor het verbeteren van de bereikbaarheid, het techniekonderwijs en de woningbouw in de Brainportregio Eindhoven. Daar wordt in totaal 2,5 miljard euro in geïnvesteerd, mede betaald uit het Nationaal Groeifonds. ‘Het kabinet heeft daar weliswaar geen officiële aanvraag bij ons voor gedaan’, zegt Letschert, ‘maar was dat wel gebeurd dan hadden we ons daar natuurlijk over gebogen.’

Resultaten uit het verleden bieden misschien geen garantie voor de toekomst, maar de investeringen in de Nederlandse chipindustrie zijn het dubbel en dwars waard geweest, meent Letschert. Dat geldt ook voor de andere sectoren waarin het Nationaal Groeifonds investeert. ‘De Rabobank heeft berekend dat voor elke euro die we uitgeven, uiteindelijk bijna 6 euro economische groei te verwachten valt. Het is dan ook te hopen dat het nieuwe kabinet het fonds niet uitkleedt, zodat we ook de laatste twee investeringsrondes nog kunnen afmaken. Als ik zie wat bijvoorbeeld ontwikkeld wordt op het gebied van regeneratieve geneeskunde (medicijnen en andere therapieën die ervoor zorgen dat het menselijk lichaam zelf een ziekte te lijf kan gaan; red.) dan staat ons alleen daar al een grote toekomst te wachten.’