NWO kent een onderzoeksproject financiering toe binnen de KIC-call ‘Vraaggedreven Partnerschappen voor Consortia’. Het onderzoeksconsortium bestaande uit TU Delft, ARCNL en ASML kan starten met innovatief onderzoek dat zij gezamenlijk hebben bepaald: met een nieuwe techniek de kleinste details van halfgeleidercomponenten zichtbaar maken. NWO financiert het onderzoek met bijna 2 miljoen euro, het aangesloten bedrijf draagt bij met ruim 2,3 miljoen cofinanciering.
Kleiner en krachtiger
Halfgeleiderapparaten zijn alomtegenwoordig in de moderne samenleving en essentieel voor technologische oplossingen voor de vele uitdagingen waarmee de samenleving vandaag de dag wordt geconfronteerd. Snelle, nauwkeurige en precieze beeldvorming tijdens de fabricage van halfgeleiderapparaten is essentieel om kleinere en daardoor krachtigere apparaten te maken. Ook maakt dit mogelijk om de productieopbrengst te verhogen en daardoor kosten en energieverbruik te verminderen.
Elektronen vervangen licht
In dit project werken de kennisinstellingen Technische Universiteit Delft en ARCNL samen met hightechbedrijf ASML om te komen tot een verbeterde beeldvorming van nog kleinere halfgeleidercomponenten. Door gebruik te maken van elektronen in plaats van licht kan de hoogst mogelijke resolutie behaald worden voor het in beeld brengen van de halfgeleideronderdelen. Aan de technologie van beeldvorming via elektronen kleven nog wel een aantal tekortkomingen die beperkend werken op de toepasbaarheid en betrouwbaarheid voor routinematige toepassing. In dit onderzoeksproject willen de consortiumpartners deze tekortkomingen verhelpen.